Triklorosilan

Trichlorosilane (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78{-2) se yon likid san koulè, trè temèt ak yon odè byen file, klori idwojèn toufe. Li bouyi a 31.8 degre epi li reyaji vyolanman ak imidite, li se eleman prensipal pou pwosesis Siemens pou pwodwi polisilicon ki wo -pou selil solè fotovoltaik ak gauf semi-conducteurs. TCS se tou lajman ki itilize nan kwasans silisyòm epitaxial wafer, sentèz organosilicon (lwil silikon, kawotchou, rezin, ajan kouple), CVD Silisyòm mens-fim depo, ak kòm yon ajan diminye selektif nan sentèz òganik. Disponib nan klas endistriyèl (pi gran pase oswa egal a 99.0%) ak klas elektwonik (jiska 9N pite). Klasifye kòm dlo-reyaktif ak trè ki ka pran dife (UN 1295, Klas 4.3+2.3, PG I) ak yon ranje eksplozif trè laj de 1.2%–90.5%; okipe sèlman nan kondisyon estrikteman anidrid ak pwoteksyon nitwojèn sèk.